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臺式掃描電子顯微鏡的應用領域

 更新時間:2025-04-09 點擊量:139
  臺式掃描電子顯微鏡包括電子發(fā)射系統(tǒng)、電磁透鏡系統(tǒng)、信號探測系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)。電子發(fā)射系統(tǒng)用于產生高能電子束;電磁透鏡系統(tǒng)對電子束進行聚焦和偏轉,以控制其在樣品表面的掃描路徑;信號探測系統(tǒng)負責檢測從樣品表面激發(fā)出的二次電子、背散射電子等信號,并將其轉換為電信號;真空系統(tǒng)為電子束的傳輸和樣品表面的分析提供必要的真空環(huán)境;計算機控制系統(tǒng)則對整個儀器的操作進行控制和數(shù)據處理。
 
  臺式掃描電子顯微鏡的應用領域:
 
  -材料科學:可用于觀察材料的微觀結構、晶粒尺寸、孔隙分布等,幫助研究人員了解材料的性能和特性,為新材料的研發(fā)提供依據。
 
  -生物學和醫(yī)學:在生物醫(yī)學領域,可用于觀察細胞、細菌、病毒等生物樣本的形態(tài)和結構,以及生物組織的內部結構,對于疾病診斷、藥物研發(fā)等方面具有重要意義。
 
  -電子工業(yè):用于檢查電子元器件的表面缺陷、焊接質量、芯片內部的電路結構等,確保電子產品的質量和可靠性。
 
  -地質學:可用于觀察巖石、礦物的微觀結構和組成,幫助地質學家了解地球的內部結構和演化過程。
臺式掃描電子顯微鏡
 
  臺式掃描電子顯微鏡的測定步驟:
 
  1.樣品制備:
 
  -將分散好的樣品滴于銅片上,干燥后將載有樣品的銅片粘在樣品座上的導電膠帶上(對于大顆粒樣品可直接將樣品粘在導電膠帶上)。
 
  -對于導電性不好的樣品必須蒸鍍導電層,通常為蒸金。將樣品座置于蒸金室中,合上蓋子,打開通氣閥門,對蒸金室進行抽真空。選擇好適當?shù)恼艚饡r間,達到真空度定好時間后加電壓并開始計時,保持電流值,時間到后關閉電壓,關閉儀器。取出樣品時,需先關閉通氣閥門以防液體倒流。
 
  2.電鏡準備:
 
  -打開電源并等待設備預熱,直到設備達到穩(wěn)定的工作溫度。
 
  -啟動控制軟件,如Igor Pro或其他SEM軟件??刂栖浖遣僮鲯呙桦婄R的關鍵,它能夠控制電子束的掃描、調整成像參數(shù)、捕獲圖像和數(shù)據等。
 
  -檢查系統(tǒng)狀態(tài),確保所有零部件正常工作,包括檢查真空泵、電子槍、探測器等。
 
  3.樣品加載與觀察:
 
  -點擊Vent放氣后緩慢打開樣品室,將樣品用導電膠固定在載物臺上。為了能在電鏡下快速準確地找到樣品的像,可提前對樣品進行標記。
 
  -調整樣品的位置,長按鼠標中鍵即顯示指向箭頭,向上拖動箭頭升高樣品臺至10mm處,點擊屏幕右側coordinates將Z軸鎖死。
 
  -調整粗/微調旋鈕進行調焦,直到觀察到的圖像清晰為止。
 
  -調整載物臺位置,找到要觀察的視野,進行分析。
 
  4.圖像采集與分析:
 
  -根據需要調整放大倍數(shù)、加速電壓等參數(shù),以獲得清晰的圖像。
 
  -使用控制軟件捕獲圖像和數(shù)據,并進行必要的分析和處理。

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